Microsistemi intelligenti: principi, applicazioni e reti di sensori distribuiti

I microsistemi intelligenti integrano in un unico dispositivo funzioni elettriche e meccaniche su scala micrometrica o nanometrica. Tali dispositivi, noti come MEMS (sistemi micro-elettro-meccanici) e NEMS (a scala nanometrica), vengono realizzati con processi di microfabbricazione similari a quelli dei semiconduttori. Essi sono in grado di rilevare e a…